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产品详情：
控制室
W 23.6 in，H 66.9 in，D 31.4 in
Chamber：
W 14.1 in，H 5.9 in，D 10.2 in
房间卷
Approx.30 liters
天然气供应
2 Gas channels via MFCS
发生器
清洁剂Tetra-30-LF-PC
技术数据
控制柜：
宽31.5英寸，高23.6英寸，深19.7英寸
腔室：
宽9.4英寸，高5.9英寸，
深9.4英寸
腔室容积：
约30升
供气：
通过MFC的1个气体通道
专用清洁剂Tetra-100-LF-PC
技术数据
控制柜：
宽78.7英寸，高86.6英寸，
深78.7英寸
腔室：
宽27.5英寸，高7.9英寸，
深27.5英寸
腔室容积：
约100升
供气：
通过MFC的3个气体通道
专用清洁剂Tetra-120-LF-PC
技术数据：
控制柜：
宽23.6英寸，高84.6英寸，深39.4英寸
腔室：
宽47.2英寸，高5.9英寸，深66.9英寸
腔室容积：
约120升
供气：
通过MFC的4个气体通道
